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產品名稱：HAMAMASTU濱松VUV-LED 光源單元 L12542
產品型號：
產品廠商：HAMAMASTU濱松
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簡單介紹：

塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司銷售HAMAMASTU濱松VUV-LED 光源單元 L12542

詳情介紹：

特點和用途

特點

較大的輻照（中和）區域
在真空中高效生成離子
無需氣流
無過沖（不產生相反極性的靜電荷）
無粉塵和電磁噪聲排放
使用壽命長

用途

卸除靜電卡盤
半導體制造設備（真空工藝）
LCD 制造設備
有機 EL 制造設備
硬盤制造設備
薄膜制造設備

靜電電荷去除效果

中和時間與距離

中和時間與真空度

詳細參數

總評級

參數	說明/值	單位
光譜分布	115 至 400	nm
窗材	MgF2	－
冷卻方法	以風扇強制風冷	－
工作溫度范圍	+10 至 +40	℃
儲存溫度范圍	0 至 +60	℃
工作濕度范圍	低于 80%（無冷凝）	－
儲存濕度范圍	低于 85%（無冷凝）	－

參數	說明/值	單位
預熱時間	25±5	s
光源保證使用壽命①	2000	h
輸入電壓（交流）	100 V 至 240 V（100 V/200 V 自動切換），單相 50 Hz/60 Hz	－
功耗（*大值）	90	VA